水原（スウォン）地検防衛事業・産業技術犯罪捜査部はセメスの元社員Ａと協力会社代表のＢ、中国国籍の技術流出ブローカーＣら４人を産業技術保護法違反、不正競争防止法違反（営業秘密国外漏洩など）の容疑で逮捕起訴した。セメスの協力企業社員１人も同じ容疑で在宅のまま裁判に渡された。


２０１６年にセメスを退社し２０１９年に別の会社を設立したＡ被告は２０２１年６月にこの装備の図面をセメス協力企業代表のＢ被告からメッセンジャーアプリで受け取り、これをブローカーＣ被告に流した容疑を受けている。Ａ被告は中国の半導体メーカーに超臨界洗浄装備１０台（１台当たり２４８億ウォン）を納品し技術移転をして協約も結んだ。ただその後検察の捜査が始まり実際に装備が納品されたのかは確認されていない。セメスは超臨界技術開発研究費約３５０億ウォンなどの直接損害を受けたと推定される。