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韓経:長期戦に備えるサムスン電子…国産フッ化水素のテストに着手

ⓒ 中央日報/中央日報日本語版
◆中国工場でも製品試験


関連業界によると、サムスン電子とSKハイニックスは国内企業が生産したフッ化水素(エッチングガス)の品質をテストしている。国内企業が中国や台湾などから核心原料を輸入した後、これを加工した製品がテスト対象という。フッ化水素は半導体工程で回路に基づいた「食刻」と、食刻後に不純物を除去する「洗浄」の工程に使われる。半導体微細工程の核心素材であるため、これまで韓国企業は純度99.999%以上の製品をステラケミファなど日本企業から主に調達してきた。




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