サムスン電子は華城(ファソン)事業場内にEUV専用ラインを9月に完工させる計画。(サムスン電子)
最近、IBM・クアルコム・エヌビディアなど米国企業から相次いで受注を受けたサムスン電子としては受注物量の供給に支障が生じる状況を迎えた。日本経済産業省の輸出規制品目のうち「1-15ナノ(nm)波長の光で使用するレジスト」には極端紫外線(EUV)工程用のフォトレジスト(PR)が含まれるからだ。EUVは光の波長(13ナノ)が従来のフッ化アルゴン(ArF、193ナノ)の14分の1程度にすぎず、さらに微細な線路を描くことができる。
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