「ファウンドリーは顧客との信頼関係がカギだが、台湾ＴＳＭＣとの競争で確保した取引先を逃さないか心配だ」。

サムスン電子がソウル三成洞（サムソンドン）グランドパルナスホテルでファウンドリーフォーラムを開催した４日、ファウンドリー事業部の役員が最近の日本の先端素材３種（フッ化水素、レジスト、フッ化ポリイミド）輸出規制に関連して述べた言葉だ。ファウンドリーとは、工場（Ｆａｂ）がない半導体設計会社のファブレスから注文を受ける委託生産で、韓国政府が２０３０年までに世界１位という目標を掲げた非メモリー分野の一つの軸だ。

最近、ＩＢＭ・クアルコム・エヌビディアなど米国企業から相次いで受注を受けたサムスン電子としては受注物量の供給に支障が生じる状況を迎えた。日本経済産業省の輸出規制品目のうち「１－１５ナノ（ｎｍ）波長の光で使用するレジスト」には極端紫外線（ＥＵＶ）工程用のフォトレジスト（ＰＲ）が含まれるからだ。ＥＵＶは光の波長（１３ナノ）が従来のフッ化アルゴン（ＡｒＦ、１９３ナノ）の１４分の１程度にすぎず、さらに微細な線路を描くことができる。


９月にＥＵＶ専用ラインを完工させて来年１月からは７ナノ工程でチップを量産する計画のサムスン電子は危機に直面した。サムスン電子はファウンドリーだけでなくＤＲＡＭの生産にも品質向上のためにＥＵＶ用レジストを使用することにした。

１カ月間ほどの在庫が残っているフッ化水素（ＨＦ、エッチングガス）の場合、最近、安定的な取引先を確保するために台湾・中国に購買担当の役職員を派遣した。フッ化水素は半導体製造工程のうち回路基板のエッチング工程に使われる。台湾にある日本ステラケミファの工場からエッチングガスを受けることにしたが、これも日本政府の承認があってこそ最終的に安定した需給が可能だという。

サムスン電子やＳＫハイニックスは「スリーナイン（９９．９％）」「フォーナイン（９９．９９％）」級は確保できても、「ファイブナイン（９９．９９９％）」級の高純度フッ化水素はほとんど日本が供給する。１億分の１（ナノ）半導体工程では高純度のフッ化水素を使用してこそ収率（生産量に対する欠陥のない製品比率）が高まり、製品の品質も担保できる。低純度のフッ化水素はラインの稼働にも影響を及ぼしかねない。

ある半導体企業の役員は「３カ月分ほどの高純度フッ化水素を確保してこそ現在の状況から最悪に向かわない」と話した。日本政府の規制措置のため、３大先端素材の場合、最大９０日まで輸出が遅れることがあるからだ。昨年１１月にも日本はエッチングガス（高純度フッ化水素）の輸出を承認せず、２日後に許可したことがあった。サムスン電子は当時から日本内部の状況を感知し、危機管理プランを稼動させた。

日本政府が今後、先端素材規制品目を増やす方式で圧力の程度を高める可能性があるという分析も出ている。半導体の回線を描くのに使用される原材料のウェハーが次の輸出規制品目に挙がっている。世界ウェハー市場で日本のＳＵＭＣＯ・信越化学が全体の５３％を占め、韓国企業はＳＫシルトロン（９％）だけが主な供給企業だ。キウム証券のオアク・ユアク研究員は「台湾やドイツからも購買できるが、現在のタイトな需給状況を考えるとやや無理がある」と予想した。

半導体回路を刻むフィルムのブランクマスクも規制対象となる可能性がある。サムスン電子が準備する７ナノのＥＵＶ工程には日本ＨＯＹＡのブランクマスクが必須という。