ＳＫハイニックスは５日、韓国の業界で初めて半導体の必須原料であるネオンガスの国産化に成功し、工程での国産ネオンガスの使用率を４０％まで拡大したと明らかにした。

これまで韓国の半導体メーカーはネオン供給を輸入に依存してきた。だがここ数年間に海外の主要生産地域の情勢が不安になり価格が急騰する兆しを見せていた。ＳＫハイニックスは需給不安要因を先制的に解消するため半導体用ガス製造会社のＴＥＭＣやポスコなどと協力して国産化に成功した。


ネオンは空気中に０．００１８２％しか存在しない希少資源だ。これを採取するには大規模な空気分離装置など初期投資費用が大きい。ＳＫハイニックスは「さまざまな協力企業と既存設備を活用し少ないコストでネオンを生産する技術を開発した。これを半導体工程に導入して購入費用を大きく低くした」と説明した。


ネオンは半導体露光工程（紫外線を照射して微細回路パターンを作る半導体工程）に使うエキシマレーザーガスの主材料だ。露光用紫外線を発生させるエキシマレーザーガス成分の９５％がネオンのため半導体工程では必須原料に選ばれる。

ＳＫハイニックスは４月から露光工程に国産ネオンを導入しており、現在まで全使用量の４０％を国産に変えた。２０２４年までに全量を国産に置き換える計画だ。このほか来年６月までに蝕刻工程に使われるクリプトン、キセノンガスを国産化する方針だ。

ＳＫハイニックスのユン・ホンソンＦＡＢ原材料購買担当副社長は「今回のネオン国産化と工程導入は不安定な国際供給状況で国内の協力会社と協力して需給安定化に寄与した事例。持続的な協力を通じ半導体原材料供給網を強化する計画」と話した。