サムスン電子や台湾ＴＳＭＣなど大型半導体メーカーが大規模な投資を予告している中で、世界で唯一、極端紫外線（ＥＵＶ）露光装置を作っているオランダのＡＳＭＬが注目を浴びている。世界１、２位半導体メーカーが互いに「装置を作ってほしい」と順番を待っていることから、ＡＳＭＬが半導体「スーパーサイクルの鍵」を握っているという評価がある。

ＡＳＭＬのＥＵＶ露光装備は半導体露光工程（写真を撮るように半導体原版であるウェハーに回路を刻む作業）に必要だ。光の波長が短ければウェハーに半導体回路を細かく描けるが、ＡＳＭＬの装備は従来の１９３ナノメートル（１ナノメートルは１０億分の１メートル）の１４分の１水準である極端紫外線を使うため、より精巧な作業が可能だ。このような点で５ナノメートル以下の半導体超微細工程における核心装置に挙げられている。

過去には日本のニコンやキヤノンなども関連製品を出していたが、ＡＳＭＬに押されてＥＵＶ市場から消えた。業界関係者は「最新半導体サプライチェーンで、唯一サプライヤーが１社だけの分野」とし「半導体メーカーが顔色を伺わざるをえない」と話した。


昨年１０月、新型コロナウイルス感染症（新型肺炎）拡大の渦中にも、サムスン電子の李在鎔（イ・ジェヨン）副会長がオランダ・フェルトホーフェンにあるＡＳＭＬ本社を訪問したのは装置供給計画について議論するためだった。成均館（ソンギュングァン）大学システム半導体工学科のハン・テヒ教授は「半導体工場を作る過程で敷地や建物は２０～３０％だ。装備とユーティリティが占める比重がそれだけ大きい」と説明した。また「ＡＳＭＬの価値を察することができる」と付け加えた。

ＡＳＭＬが市場覇権を左右する主要な理由は、１年に生産可能な装置が３０～４０台と限られているためだ。半導体メーカー１社が１台を導入すれば競争会社がこれを奪われる「ゼロサム」の性格を帯びている。ＡＳＭＬは昨年３１台を、今年は４０台余りを出荷する計画だ。

高い技術障壁のために、業界では取引しにくい会社との認識だ。現在は注文が溜まっていて装備の納品までには１年以上待たなければならない。基本的に装備の製作だけで５カ月かかる。重さ１８０トン、高さ４～５メートルにもなる機械の中に計１０万個の部品が使われている。内部気圧は大気圧の１０万分の１水準を維持しなければならず、０．００５度単位で温度を制御する技術も必要だ。ＡＳＭＬがＥＵＶ装備を開発して商用化するために２０年かかったほどだ。１台あたりの価格は１５００億～２０００億ウォン（１４１億～１８８億円）だ。最近では１台あたり３０００億ウォンをつけていることが分かった。

新韓金融投資のキム・ヒョンテ研究員は「微細工程の需要が増加し、ＥＵＶ装置の役割に注目が集まるほどＡＳＭＬの企業価値も高まる」としながら「装置業種内で最も完ぺきな独占構造を構築した」と評価した。

米国ナスダック市場に上場したＡＳＭＬの株価も高まる一方だ。２２日を基準として時価総額は２６４兆１６００億ウォンだった。一時「半導体帝王」に挙げられたインテル（２５６兆５７００億ウォン）を超えた。昨年の売上は１４０億ユーロ（約１兆７７００億円）、純利益は３６億ユーロで史上最高を記録した。最高経営責任者（ＣＥＯ）を務めるＰｅｔｅｒ　Ｗｅｎｎｉｎｋ氏は「今年ＥＵＶ装備の売上目標は昨年に比べて約３０％増の４５億ユーロ」と話した。