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サムスン電子副会長、半導体「超格差」維持へ…欧州訪問でEUV装置追加確保を議論

ⓒ 中央日報/中央日報日本語版

オランダに出張した李在鎔(イ・ジェヨン)サムスン電子副会長(右から3人目)が腰を落としてASMLの装備生産過程を見ている。[写真 サムスン電子]

李在鎔(イ・ジェヨン)サムスン電子副会長が1週間の欧州出張日程を終え、14日に金浦(キンポ)空港に到着した。李副会長は出張期間、オランダ半導体装備企業ASMLの経営陣と会い、極端紫外線(EUV)露光装備の供給について議論した。新型コロナウイルス感染拡大のため中断していた海外出張を5カ月ぶりに再開した最初の訪問であり、ASMLとの協力に注力するということだ。

サムスン電子側は「李副会長が13日(現地時間)、オランダのアイントホーフェンにあるASML本社を訪問し、ピーター・ウェニンク最高経営責任者(CEO )と7ナノ以下の半導体生産に必須のEUV装置供給計画および運営技術の高度化などについて議論した」とし「ASMLの生産工場も訪問し、実際に現況を点検した」と明らかにした。続いて「最近はシステム半導体に続いて最先端メモリー半導体分野にまでEUV活用範囲を拡大していて、特にファウンドリー(半導体委託生産)事業が速いペースで成長し、両社の協力関係も拡大している」と伝えた。

EUV装置は7ナノメートル(nm・1ナノメートルは10億分の1メートル)以下の半導体製造工程で必須の装備。ウェハー上に光で回路パターンを転写する露光工程に使われる。EUVを光源に使用すれば、従来のフッ化アルゴン(ArF)光源より波長が約14分の1と短く、より微細な回路パターンを描写できる。細密な回路パターンの半導体であるほど性能と効率が良い。EUV基盤の最先端製品の需要は増加している。


しかしEUV装置の供給量は制限的だ。2019年に初めてこの装置を商用化したのがASMLであり、現在も独占供給している。1台あたり価格が約2000億ウォン(約183億円)と非常に高価だが、製品が不足して販売できないほどだ。日本のニコンなどの企業もEUV技術力を持つが、商用化が可能な価格競争力を確保できていないという。実際、ニコンは2016年にEUV事業部の職員を大幅に削減し、商用化が遅れている。半導体業界の関係者は「ASMLの主な顧客は世界ファウンドリー業界1・2位のTSMCとサムスン電子」とし「両社ともに制限的なEUV装備需給のためASMLと緊密な関係を構築している」と伝えた。実際、サムスン電子は現在、ASML株1.5%を保有している。

市場調査会社トレンドフォースによると、今年7-9月期のファウンドリー市場予想は1位がTSMC(53.9%)、2位がサムスン電子(17.4%)だった。サムスンはメモリー半導体分野では世界トップだが、ファウンドリー分野では挑戦者の立場だ。李副会長はファウンドリー分野で1位のTSMCとのシェア格差を縮小するため、昨年「半導体ビジョン2030」を樹立した。2030年まで133兆ウォンを投資するが、全体の45%の60兆ウォンがEUV露光装置など先端生産インフラに投入される。

サムスン電子は2019年に10台のEUV装置を導入した。しかし今回の李副会長の出張で追加の導入が予想される。TSMCの投資もサムスンに劣らない。現在20台ほどのEUV装置を運用しているが、2021年までにEUV露光装置50台を追加で購入する計画という。ナノ総合技術院のイ・ジョウォン院長は「TSMCとサムスン電子はどちらが先に2ナノ、3ナノ半導体を量産するか激しく競争している」とし「この競争で優位に立つためにはEUV装置をどちらが多く確保するかが重要になる」と述べた。

一方、この日午前9時40分ごろソウル金浦ビジネス航空センターを通じて専用機で入国した李副会長は「今回、IOC(国際オリンピック委員会)に会ってきた。次の出張はまだ決まっていない」と述べ、オランダのほかスイスを訪問した事実も明らかにした。



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