李在鎔（イ・ジェヨン）サムスン電子副会長が１週間の欧州出張日程を終え、１４日に金浦（キンポ）空港に到着した。李副会長は出張期間、オランダ半導体装備企業ＡＳＭＬの経営陣と会い、極端紫外線（ＥＵＶ）露光装備の供給について議論した。新型コロナウイルス感染拡大のため中断していた海外出張を５カ月ぶりに再開した最初の訪問であり、ＡＳＭＬとの協力に注力するということだ。

サムスン電子側は「李副会長が１３日（現地時間）、オランダのアイントホーフェンにあるＡＳＭＬ本社を訪問し、ピーター・ウェニンク最高経営責任者（ＣＥＯ ）と７ナノ以下の半導体生産に必須のＥＵＶ装置供給計画および運営技術の高度化などについて議論した」とし「ＡＳＭＬの生産工場も訪問し、実際に現況を点検した」と明らかにした。続いて「最近はシステム半導体に続いて最先端メモリー半導体分野にまでＥＵＶ活用範囲を拡大していて、特にファウンドリー（半導体委託生産）事業が速いペースで成長し、両社の協力関係も拡大している」と伝えた。

ＥＵＶ装置は７ナノメートル（ｎｍ・１ナノメートルは１０億分の１メートル）以下の半導体製造工程で必須の装備。ウェハー上に光で回路パターンを転写する露光工程に使われる。ＥＵＶを光源に使用すれば、従来のフッ化アルゴン（ＡｒＦ）光源より波長が約１４分の１と短く、より微細な回路パターンを描写できる。細密な回路パターンの半導体であるほど性能と効率が良い。ＥＵＶ基盤の最先端製品の需要は増加している。


しかしＥＵＶ装置の供給量は制限的だ。２０１９年に初めてこの装置を商用化したのがＡＳＭＬであり、現在も独占供給している。１台あたり価格が約２０００億ウォン（約１８３億円）と非常に高価だが、製品が不足して販売できないほどだ。日本のニコンなどの企業もＥＵＶ技術力を持つが、商用化が可能な価格競争力を確保できていないという。実際、ニコンは２０１６年にＥＵＶ事業部の職員を大幅に削減し、商用化が遅れている。半導体業界の関係者は「ＡＳＭＬの主な顧客は世界ファウンドリー業界１・２位のＴＳＭＣとサムスン電子」とし「両社ともに制限的なＥＵＶ装備需給のためＡＳＭＬと緊密な関係を構築している」と伝えた。実際、サムスン電子は現在、ＡＳＭＬ株１．５％を保有している。

市場調査会社トレンドフォースによると、今年７－９月期のファウンドリー市場予想は１位がＴＳＭＣ（５３．９％）、２位がサムスン電子（１７．４％）だった。サムスンはメモリー半導体分野では世界トップだが、ファウンドリー分野では挑戦者の立場だ。李副会長はファウンドリー分野で１位のＴＳＭＣとのシェア格差を縮小するため、昨年「半導体ビジョン２０３０」を樹立した。２０３０年まで１３３兆ウォンを投資するが、全体の４５％の６０兆ウォンがＥＵＶ露光装置など先端生産インフラに投入される。

サムスン電子は２０１９年に１０台のＥＵＶ装置を導入した。しかし今回の李副会長の出張で追加の導入が予想される。ＴＳＭＣの投資もサムスンに劣らない。現在２０台ほどのＥＵＶ装置を運用しているが、２０２１年までにＥＵＶ露光装置５０台を追加で購入する計画という。ナノ総合技術院のイ・ジョウォン院長は「ＴＳＭＣとサムスン電子はどちらが先に２ナノ、３ナノ半導体を量産するか激しく競争している」とし「この競争で優位に立つためにはＥＵＶ装置をどちらが多く確保するかが重要になる」と述べた。

一方、この日午前９時４０分ごろソウル金浦ビジネス航空センターを通じて専用機で入国した李副会長は「今回、ＩＯＣ（国際オリンピック委員会）に会ってきた。次の出張はまだ決まっていない」と述べ、オランダのほかスイスを訪問した事実も明らかにした。