韓国標準科学研究院、フッ化水素純度分析サービス提供…「日本の輸出規制に対応」

2020.09.22 14:20

フッ化水素の品質を評価する研究チーム　［写真　韓国標準科学研究院提供］

韓国標準科学研究院は日本の半導体素材輸出規制に対応して昨年８月から高純度ガス信頼性検証実験室の設置に入り、今回完工した。半導体用高純度ガス素材に対する品質評価設備を構築し、約２０種類のサービスのうち最初にフッ化水素の品質評価を進める。

韓国標準科学研究院はシリンダーに入った液体状態のフッ化水素を気化して気体上の不純物を分析し、誘導結合プラズマ質量分析装置で金属成分の不純物を分析し、最終純度を決める。今回のサービスでフッ化水素開発会社は分析結果に基づき自社製品の不足した点を改善できる。

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