日本の半導体素材企業の東京応化工業（ＴＯＫ）が自国政府の輸出規制を避けフォトレジスト（感光液）を韓国で本格生産し始めた。フォトレジストは半導体ウエハーに光を当てて回路線を描く露光工程に先立ち塗る液体で、極端紫外線（ＥＵＶ）用フォトレジストは日本政府が昨年７月から対韓輸出を規制した品目のひとつだ。

◇日本政府の輸出規制避け仁川で量産

２日の半導体業界によると、ＴＯＫは仁川（インチョン）の松島（ソンド）にあるサムスン物産との合弁法人のＴＯＫ先端材料でＥＵＶ用フォトレジストを生産している。ＴＯＫは安定したサプライチェーンを望むサムスン電子に向け韓国での生産を増やすという。ＴＯＫは日本政府の輸出規制以前にも自国から原材料を持ち込んで松島工場でフォトレジストの完成品を少量生産していたが、最近ではＥＵＶ用製品まで量産に入ったという。


現在サムスン電子は７ナノメートル（１ナノメートルは１０億分の１メートル）以下のファウンドリー（半導体委託生産）工程でＥＵＶを使っている。ＥＵＶは既に半導体露光工程に使われたフッ化アルゴン（ＡｒＦ）と比べ光の波長が１４分の１水準のためパターンをより細かく刻める長所がある。２月にはサムスン電子の李在鎔（イ・ジェヨン）副会長がＥＵＶファウンドリー専用ラインを訪ねて現場点検に出た。サムスン電子はファウンドリーだけでなくＤＲＡＭ半導体生産にもＥＵＶを使いスケールメリットを得る計画だ。

ある半導体メーカー関係者は、「サムスン電子がシステム半導体とメモリー半導体全ともにＥＵＶ工程を選びフォトレジストが大量に必要になった。これに伴いＴＯＫも大口顧客を失わないために韓国での生産の割合を高めている」と話した。ＴＯＫの決定には米デュポンが１月に「忠清南道天安（チュンチョンナムド・チョナン）にＥＵＶ用フォトレジスト工場を作る」と発表したことも影響を与えたという。

◇米デュポンも天安にＥＵＶ用フォトレジスト工場建設

日本政府の輸出規制直後だけでもサムスン電子はフォトレジスト調達に困難を経験した。フォトレジストはＪＳＲ、信越化学工業、ＴＯＫなど日本企業が得意な分野であるためだ。これによりサムスン電子は、日本企業のＪＳＲとベルギーの研究センターＩＭＥＣが２０１６年に設立した合弁法人からＥＵＶ用フォトレジストを空輸したりもした。

貿易協会によると、１～５月に韓国に輸入されたフォトレジストのうちベルギー製の割合は５．８％まで上昇した。前年同期の０．４％と比較して輸入額の規模も４８万６０００ドルから８７２万１０００ドルに１８倍に増えた。ベルギー製フォトレジストを輸入して日本製の割合は９１．９％から８８．６％に小幅低下した。