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韓経：素材・部品・装備「半分の成功」…フォトレジストの日本依存依然９０％

ⓒ 中央日報/中央日報日本語版
2020.06.30 08:31
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韓経：素材・部品・装備「半分の成功」…フォトレジストの日本依存依然９０％

韓国政府は「国産化」を掲げて素材・部品・装備産業（素材・部品・装備）支援に出た。それから１年。一部成果はあった。日本製と対等な品質の液体フッ化水素を開発したのが代表的だ。だが極端紫外線（ＥＵＶ）露光工程用フォトレジストと超高純度の気体フッ化水素の国産化の知らせはまだない。「調達先を多角化すべきだが日本との協業を無条件で排除する必要はない」という指摘が産業界と学界から出る理由だ。


◇液体フッ化水素は国産化成功




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