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韓国企業、日本輸出規制から1年で超高純度フッ化水素の量産開始

ⓒ 中央日報日本語版

SKハイニックスが開発した128段NAND型フラッシュメモリ[写真 SKハイニックス]

17日、SKグループによると、SKマテリアルズは最近、純度99.999%の超高純度フッ化水素ガスの量産を始めた。


超高純度フッ化水素ガスは半導体の製造に使われる洗浄ガスで、半導体工程微細化で需要が急増しているが、日本などの海外依存度が100%に達していた。日本が昨年7月、フッ化水素をはじめフォトレジストやフッ化ポリイミドなど3品目に対して韓国で輸出する際に一つひとつ個別許可を受けさせる輸出規制措置を断行して需給が難しくなった。




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