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韓国企業、日本輸出規制から1年で超高純度フッ化水素の量産開始

ⓒ 中央日報日本語版

SKハイニックスが開発した128段NAND型フラッシュメモリ[写真 SKハイニックス]

SKマテリアルズが超高純度フッ化水素ガスの量産を始めた。

17日、SKグループによると、SKマテリアルズは最近、純度99.999%の超高純度フッ化水素ガスの量産を始めた。

超高純度フッ化水素ガスは半導体の製造に使われる洗浄ガスで、半導体工程微細化で需要が急増しているが、日本などの海外依存度が100%に達していた。日本が昨年7月、フッ化水素をはじめフォトレジストやフッ化ポリイミドなど3品目に対して韓国で輸出する際に一つひとつ個別許可を受けさせる輸出規制措置を断行して需給が難しくなった。

SKマテリアルズは昨年末、超高純度フッ化水素ガスの試作品開発に成功し、慶尚北道(キョンサンブクド)の栄州(ヨンジュ)工場に15トン規模の生産施設を作るなど国産化作業を進めてきた。2023年まで国産化率を70%まで引き上げることが目標だ。

SKグループは素材の国産化過程で確保した力量などを中小企業共生協力と連携させて国内半導体生態系を強化するために寄与していくと明らかにした。SKグループ関係者は「投資額や専門人材確保の側面で困難を強いられている中小企業にSKが保有したノウハウを共有し、業界全体が進化・発展していけるよう支援していく」としながら「中小企業共生協力を強化し、国内半導体産業の競争力を高めて雇用創出効果にも寄与する」と明らかにした。

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