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韓経:SK、フッ化水素の国産化に成功…「半導体ラインに投入開始」

ⓒ 中央日報/中央日報日本語版
SKハイニックスが日本の輸出規制品目の一つである液体フッ化水素(エッチング液)の国産化に成功した。今月初めから国内企業の製品を一部半導体生産ラインに投じている。液体フッ化水素は半導体の原版であるウェハーを削って不純物を除去する際に使用される核心材料だ。

日本政府は韓国向け輸出規制を始めた7月以降、気体フッ化水素の輸出は3件承認したが、液体製品輸出はまだ1件も許可していない。産業界では半導体企業による核心素材の国産化と輸入処の多角化が予想より早く進んでいるという評価が出ている。

SKハイニックス関係者は2日、「1日から一部の生産ラインに日本産液体フッ化水素の代わりに国産製品を投じている」と明らかにした。同社は液体フッ化水素をラムテクノロジーから供給を受けていると伝えた。

ラムテクノロジーは2001年10月に設立された半導体工程用科学素材専門企業だ。中国産原料を輸入して再加工したフッ化水素製品と自社生産分などを集めてSKハイニックスに納品している。ラムテクノロジーの液体フッ化水素供給可能物量は年間7000トン水準でSKハイニックス全体需要量の半分程度だ。SKハイニックスとラムテクノロジーは昨年末から液体フッ化水素の生産を共同で準備し、先月最終品質試験を終えたという。

サムスン電子も先月から一部の生産ラインで国産液体フッ化水素を使っている。同社関係者は「相対的に『それほど敏感でない』生産ラインで日本製品の代わりに国内で生産した液体フッ化水素を使っている」と話した。

日本政府が液体フッ化水素(エッチング液)の輸出承認を今日明日と先送りにしている状況で「国産化」の便りが聞こえてくると国内半導体業界からは「一息ついた」という反応が出てきた。日本は8月から次々とフォトレジスト(感光液)、気体フッ化水素、フッ化ポリイミドの輸出を許可した。

だが、液体フッ化水素輸出は「書類補完」などの理由を挙げて承認しないでいる。国内業界では、液体フッ化水素がウェハーエッチングや不純物除去など広範囲に使われるため日本が「意図的に」輸出承認を先送りしているとみている。業界関係者は「日本政府の液体フッ化水素輸出許可が遅れていることでサムスン電子とSKハイニックスが国産製品の品質テスト速度をさらに上げた」としながら「日本の輸出規制が核心素材国産化の踏み台になった」と評価した。

ディスプレー業界では半導体業界よりも早く液体フッ化水素の国産化が進められている。LGディスプレーは先月初め、液体フッ化水素の一部国産化を知らせた。今月には生産ラインに投入される液体フッ化水素100%を国産化する予定だと伝えた。サムスンディスプレーも最近、国産液体フッ化水素テストを終わらせて近く生産ラインに投じる予定だ。

日本政府は先月30日、気体フッ化水素輸出2件を許可した。日本の輸出規制が始まってから半導体核心材料3品目関連の輸出承認件数は合計7件だ。今回輸出の承認が下りた気体フッ化水素はSKハイニックス、サムスン電子がそれぞれ輸入するという。SKハイニックスの輸入物量が許可を受けたのは今回が初めてだ。SKハイニックス関係者は「初めて日本政府から輸出承認を受けたのは間違いない」とし「まだ製品が国内に入ってきてはいない」と説明した。

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