３日の半導体業界によると、サムスン電子は韓国のソルブレインとＥＮＦテクノロジーが製造したフッ化水素の納品を受け先月中旬から一部工程に投じ始めた。２つの会社は中国製の無水フッ化水素酸を輸入して日本から輸入していた純度９９．９９９％のフッ化水素の液状製品を作るのに成功した。ただ、国産フッ化水素を半導体生産のすべての工程ラインに投じる段階ではない。サムスン電子関係者は「韓国企業が生産したフッ化水素の試作品を敏感度が低い工程から順次投じており、敏感度が高い工程に広めていく方針」と説明した。半導体の工程は５００種類ほどで構成されており、このうちフッ化水素が必要な工程は５０工程前後だ。サムスン電子はこのうち１～２工程から日本製に代わり国産製品を使っているという。


ＳＫハイニックスもやはり韓国企業が生産したフッ化水素を近く試運転作業に投じる計画だ。今年に入り２度減産に入ったＳＫハイニックスは、日本発の素材不足では相対的に余裕がある方だ。ＳＫハイニックスは中国・無錫にある半導体生産ラインでは中国製フッ化水素で日本製の代替作業を完全に終えたという。