半導体生産ラインで製品を検収する様子。[中央フォト]
2日、業界によると、韓国企業のソルブレインは今月内にDRAM・NAND型フラッシュメモリー工程に使われる高純度フッ化水素の試作品を量産する計画だ。日本企業に劣らない「ファイブナイン」(99.999%)の純度のフッ化水素(HF)の液状形態製品だという。中国産の原料(無水フッ酸)を使って生産した。今月内に工場増設を終えると同時に量産に入る予定だ。ディスプレーパネルと比較すると半導体工程にはさらに微細な回路工程が求められるためはるかに高品質のフッ化水素が必要だ。
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