２３日午前９時、忠清南道錦山（チュンチョンナムド・クムサン）の化学プラント企業Ｃ＆Ｂ産業の会議室。同社役員陣はこの日、６年前に取得した超高純度フッ化水素の特許出願書を取り出して再び額を突き合わせた。独自開発した超高純度フッ化水素精製技術の商用化をめぐり２時間にわたり激しい討論の末に下した結論は、６年前と同じく「不可」だった。同社のキム代表は会議直後「私たちの技術は自信があるが少なくない費用と高い参入障壁はその時も現在も同じこと」と話した。超高純度フッ化水素を６年前に開発したが、売り上げ１００億ウォンほどの中小企業としては今回も自力での商用化は不可能だという判断を下したのだ。

この会社が半導体工程に使われる超高純度フッ化水素技術を開発したのは２０１１年。２０１３年には特許出願まで終えた。フッ化水素にある数十種類の不純物の割合を１０億分の１まで取り除く技術が特許の核心だ。フッ化水素に少量の過酸化水素を入れた後に超音波を照射し取り除くのが最も難しい不純物のひとつであるヒ素がたくさん接着されるようにして純度を高めた技術だ。特許内容をみると日本が輸出を規制している純度９９．９９９％（ファイブナイン）よりはるかに高い９９．９９９９９９９９％（テンナイン）のフッ化水素を精製できることを７回の実験を通じて立証したと同社は主張した。

使わずにおいていた特許を再び持ち出したのは最近日本の輸出規制で高純度フッ化水素が注目され商業化の可能性を打診するためだった。だがキム代表は「当時もいまも私たちのような小さな中小企業が直接商用化するのは容易ではなさそうだ」と話した。彼はコストと人材のほかにも、フッ化水素工場を作る場合に直面する地域住民の反対と、１０カ所以上を駆け回り似た内容の許認可を受けるのも厳しいと伝えた。


キム代表の悩みは韓国の中小半導体素材装備企業が一様にぶつかっている障壁だ。素材や装備企業の場合、技術を開発して特許を出願しても商業化までは大小の山を越えなければならない。まず試作品生産ラインと各種分析装備を確保して１次テスト、専門機関の２次テスト、サムスン電子やＳＫハイニックスの量産テストなどを経なければならない。この会社の場合も１０億ウォンほどする金属分析装備を購入し、パイロット生産ラインを構築することだけで４０億～５０億ウォンが必要なものと推算される。

韓国政府はこうした素材装備企業の困難を解消し国産化率を高めるために韓国ナノ技術院やナノ融合技術院、ナノ総合技術院などを運営している。１０年ほど前に設立されたこれら機関は２００ミリウエハーで４０ナノメートル級の半導体生産装備や素材をテストできる。だがサムスン電子やＳＫハイニックスは現在３００ミリウエハーを使って７～１４ナノメートル級の半導体を生産する。韓国半導体ディスプレー技術協会のイ・ジョンヒ専務は「半導体業界は１日と置かずにスケーリングダウン競争を行っているが中小企業が活用できるテスト装備は１０～１５年前水準で停滞している」と話す。

実際に韓国半導体ディスプレー技術学会が昨年韓国の素材装備企業６６社を対象に実施した調査でも最終企業が要求する３００ミリに対応できる施設を備えたところは４社にすぎなかった。ある業界関係者は「素材や装備を開発してもサムスン電子やＳＫハイニックスの量産テストを受けようとするなら荷物を包えてベルギーや米国などを行き来しながら証明書を取ってこなければならない」と話した。

成均館（ソンギュングァン）大学新素材工学部のヨム・グンヨン教授は「韓国経済で占める半導体の割合が大きいだけに素材装備企業を育成しなければならない。特に半導体素材装備の国産化率を高めるには３００ミリ基盤の前後工程と分析設備を備えた１次テストベッドが切実だ」と話した。