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日本でなければ台湾でも…サムスン副会長、フッ化水素を探しに東奔西走

ⓒ 中央日報/中央日報日本語版

サムスン電子の李在鎔副会長

昨夜、日本に到着したサムスン電子の李在鎔(イ・ジェヨン)副会長が日本政府が取り引き規制の

対象に含まれた半導体先端素材3つ(フッ化水素・フォトレジスト・ポリイミド)の取引先を探すために東奔西走している。李副会長は日本羽田空港に到着した直後である7日夜にも取材陣の質問に発言を控えて「梅雨ですね」と短く答えて準備された車両に搭乗した。

7日、日本経済新聞は李副会長が取引先の企業幹部に会って日本以外の工場から韓国に素材調達を要請するだろうと報じた。日本以外に台湾・シンガポールに生産拠点をもつ素材会社ステラケミファから高純度のフッ化水素(HF・エッチングガス)を調達するための目的と見られる。フッ化水素は半導体の製造工程の中で回路の形通りに削るエッチング工程に使われる。IT業界によると、エッチングガスは毒性があって長時間保管が難しい理由に「JIT(Just in time・適時供給)」が必須だ。

サムスン電子の要請と違い、ステラケミファは現在の日本政府の最終承認を得てこそ台湾などの地域からで韓国にエッチングガスを輸出することができるという立場だと知らされた。日本経済産業省がエッチングガスをはじめ、戦略物資の輸出許可権を握っているため、これを考慮した措置に見られる。

現在のサムスン電子やSKハイニックスは大きく2つにエッチングガスを供給されている。ステラケミファなど日本企業から直接高純度のエッチングガスを輸入し、あるいは韓国にある協力企業が買い入れた一般のフッ化水素を高純度に加工した製品を調達する方式だ。

匿名を要求した半導体業界関係者は「ガス形態のフッ化水素でなくても液体などケミカル形態のフッ化水素を使うことができるだろうが、円滑な工程のためには高純度のエッチングガスを十分に確保するのが良いだろう」と説明した。

他の取り引きの規制品目であるフォトレジスト(PR)を生産する日本現地企業のTOKも李副会長の現地日程に含まれる可能性がある。TOK関係者は最近、時事通信とのインタビューを通じて「米国のファーウェイ(華為技術)の制裁が多少緩和されるという期待感が大きくなったが、突然政府の輸出規制が不可能になり失望感が大きい」として「極紫外線(EUV)のフォトレジストは生産量が少なく、韓国でも生産施設があり影響は制限的になる可能性もある」と伝えた。TOKは仁川松島(インチョン・ソンド)に生産拠点を構えている。

李副会長の帰国は9日が有力視されている。ただし、サムスン電子は「何も決まっていない」という立場だ。

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