世界の半導体戦争の勝敗を左右する極端紫外線（ＥＵＶ）装備確保戦でも韓国が押されているとの指摘が出ている。オランダＡＳＭＬが独占生産するＥＵＶ装備は回路線幅１０ナノメートル以下の最先端半導体チップ生産に向けた必須装備だ。これまでは韓国のサムスン電子と台湾のＴＳＭＣがこれを分け合っていたが、インテルなど米国企業がＥＵＶ装備を買い入れ市場の構図が揺れ動いている。

ＡＳＭＬが２７日に発表した上半期業績資料によると、地域別売り上げで米国の割合が１－３月期の３％から４－６月期には６％に増えた。金額基準では９３００万ユーロ（約１２０億７６３０万円）から１億７４００万ユーロに急増した。これに対し韓国と台湾の売り上げの割合は減った。韓国は１－３月期の４４％から４－６月期は３９％に、台湾は４３％から３６％に減少した。市場では米国政府の支援を背景にしたインテルが確保戦に参入し１年以内にシェアが２桁に成長し韓国企業の物量確保に脅威になるだろうとの見通しが出ている。

専門家らは「ＡＳＭＬのＥＵＶ生産能力は年間４０台にすぎず、１～２社が発注競争に参入しただけでも市場の構図に大きな影響を及ぼす」と話す。しかもＥＵＶは生産に長い時間がかかるため、「優先順位」で押されれば半導体生産スケジュールに支障が生じるほかない。世界の半導体企業の競争力はＥＵＶ装備をだれがより多く保有しているかで決まるほどだ。


１台当たり２０００億ウォン（約１９５億円）に迫るＥＵＶは半導体原板であるウエハーに回路を刻む時に使われる。既存装備よりはるかに細かく回路線幅を描くことができ、ＥＵＶを活用すれば同じ大きさのウエハーから得られるチップの数が既存装備より２０～３０％ほど多くなる。ＡＳＭＬが４－６月期に新規で受注したＥＵＶ装備だけでも４０億ユーロに達する。全受注残高は１７５億ユーロで過去最大水準だ。それだけ生産が貯まっているという説明だ。

業界の一部ではサムスン電子が今後必要なＥＵＶ装備の確保と関連して懐疑的な見方を見せている。２０１９年以降にサムスン電子がＥＵＶ装備確保に向け全方向に乗り出してＡＳＭＬの売り上げで韓国が占める割合は４０％に達したが、現在では状況が変わったと分析される。サムスン電子の李在鎔（イ・ジェヨン）副会長は定期的にＡＳＭＬ経営陣と接触して次世代半導体のナノプロセス協力案を議論してきた。昨年１０月にはオランダのＡＳＭＬ本社を訪れたりもしたが、李副会長が今年初めに法廷拘束され交流が途絶えた。半導体装備業界関係者は「ＥＵＶは部品形態で現地工場に入ってくるため組み立て時間などを考慮すれば製造後生産に投入されるまで２年ほどかかる。いま発注しても早くて２０２６年に装備を受領することになる」と説明した。